再生装置

再生装置とは

再生(リファービッシュ)とは、中古装置を整備し、新品同等の状態・性能にできる限り近づける作業です

装置を構成する部品やモジュール類は単体でチェックされ、交換もしくはオーバーホールされます。筐体及びカバー類はクリーニング・再塗装されます。各ユニットを単体で検査した後、組み上げて通電し、設備に応じた手順でチューニングを行います。出荷前検査では、作業前にお客様と合意した検査項目の基準値を満たし合格と判断されてから出荷を迎えるのが標準的です。

再生装置とは

インターテック販売の再生装置のポイント

POINT 01 お客様のご要求仕様に合わせたカスタマイズ対応
POINT01
お客様が要求される仕様に合わせた
カスタマイズ対応

リファービッシュだけではなく、各種改造も請け負っております。ウェハー材質やサイズ、搬送方式の変更、安全仕様対応、裏面露光対応など、様々なご要求に応じるための豊富なメニューがございますので、まずはご相談ください。

POINT 02 性能保証と部品保証があるから安心
POINT02
性能保証と部品保証があるから安心

リファービッシュ後は通常、出荷前検査にてお客様と合意した検収検査項目の性能確認をしていただきます。そして装置納品後の立ち上げ作業完了後の同検収検査結果を基に、出荷前後の検収検査項目値の再現確認を行い、検収に至ります。もちろん部品保証も付いてておりますので安心です。

POINT 03 アフターフォローも充実
POINT03
アフターフォローも充実

導入後の突発的なトラブル対応はもちろん、定期メンテナンスメニューも用意しておりますので、導入後もご安心ください。数多くの実践を重ねたエンジニアが国内に在籍しているため、きめ細かな対応が可能です。

インターテック販売の再生装置導入メリット

  • 基本的な作業や交換部品が標準化されているので、ご予算立案時のご相談にも素早くお答えいたします。
  • 改造内容によっては、当社デモンストレーション機を利用した検証作業も可能です。
  • 作業内容によっては、オンサイト(お客様工場での作業)も検討できます。
  • アフターフォローもございますので安心です。

再生装置サービスの流れ

再生装置の製造フローをご紹介いたします。ご参考になさってください。

  • ヒアリング・仕様決め

    お客様のご要望やご予算を伺い、装置の仕様を策定。

  • 装置のご準備(買い付け)

    当社が保有する中古半導体装置から最適なものをご準備させていただきます。
    装置は、当社エンジニアが直接現地まで出向き、程度の良い装置だけを吟味して、履歴の確かなもののみを買い付けております。
    お客様のご要望に応じて、必要な場合は新たな装置の買い付けも行います。

  • リファブ作業

    消耗品交換(設置後の初期トラブル防止のためにも必ず実施)、故障箇所の修理もしくは部品交換、カバー類再塗装(樹脂カバーについては新規製作、オリジナルデザインを取り込み機能向上)、ユニット毎の調整、組立等を行います。

  • 最終確認

    性能確認及びメーカーと同等スペックに最終調整いたします。

  • 梱包

    出荷前にお客様立ち会い検査を実施し、梱包、出荷。

  • メンテナンス(アフターフォロー)

    お客様先での立上げ作業や定期メンテナンス、突発トラブル対応、各種点検作業などを行います。

再生対象製品のご紹介

  • 一括露光機

    一括露光機

    Canon

    MPA500、600シリーズ
    PLA500、600シリーズ

  • i線ステッパー装置

    i線ステッパー装置

    Canon

    FPA3000シリーズ

    Nikon

    NSR-i6~i14、SFシリーズ

  • CD-SEM装置

    CD-SEM装置

    HITACHI

    S8000、S9000シリーズ

  • 常圧CVD装置

    常圧CVD装置

    Watkins Johnson

    WJ900、1000シリーズ

  • ボンドテスター装置

    ボンドテスター装置

    Nordson DAGE

    DAGE-4000

  • パラメトリックテスター装置

    パラメトリックテスター装置

    Keysight

    4070シリーズ

  • パッチスプレー洗浄装置

    パッチスプレー洗浄装置

    RENA

    SST/SAT

上記以外の型式も多数の取り扱い実績がございます!
詳しくはお問い合わせください。

再生装置販売

再生装置販売

再生対象製品の多くは、常時在庫を確保しております。
デモンストレーションのご要望にも可能な限り対応できるよう、適正在庫の保持に努めております。

エンジニアの技術力向上、稼働率アップのためにも、適正在庫の保持は欠かせません。万が一、ご提案する装置の在庫がない場合でも、外部より調達する前提でのご提案・お見積りが可能ですので、まずはお問い合わせください。

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