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ボンドテスター装置

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測定範囲	プル方向0 ~ lOkgf、シェア方向0 ~ 200kgf
測定精度	選定された測定レンジフルスケールの土0.25%
ロードセル精度	0.01％以内(lOOppm)
テスト項目	破壊及び非破壊テスト
測定スピード	ワイヤプルテスト lµ ~ 5000µm/sec シェアテスト lµ ~ 600µm/sec
ワイヤプルフック回転機能	ワイヤプルフック回転機能
フック及びシェアツール破損防止機構	自動プロテクター装備
ワークエリア	オープンスペースで微小エリアから大型基板まで対応
ステージ駆動距離	50 x 50mm（モーター駆動）
装置校正	基準分銅・治具を使用し自動で行う
安全対策	オーバーロード検知、自動停止機能
顕微鏡	ズーム式実体顕微鏡(X80)
装置寸法・重量	W425mm x D7 30mm x H670mm · 45kg
ユーティリティー	電源AClOOV、500W以下