在庫検索

Advancer セミオートウェットプロセッサー

工程	洗浄
メーカー	RENA

Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。

生産性

低コストながら高いパフォーマンス

•　前後側面マウントロボット

•　大きな薬液容量

•　薬液投入、タンク内で混合

•　素早いリンス

その他

最適なパフォーマンスのための各種モデル

•　洗浄、エッチング、剥離など

　多様なアプリケーション

•　タンク数1-6によって3種類

　のプラットフォームをご用意

•　酸、ソルベントプロセス

•　ロボットはオプションで２機

　まで搭載

•　4，5，6，8インチに対応

IDX Flexware

•　柔軟性

•　拡張性

•　精密

•　SECS/GEMS準拠

•　タッチスクリーン

__________________________________________________________________________________________________________________

　設計ポリシー ︓ 生産性 • 安全性 • 信頼性 • 高い自由度 • 低コスト • メンテナンスが容易

	Advancer Micro		Advancer
	Micro FA	Micro RA	Classic 150
最大固定タンク数	Single 200mm	Single 200mm	Single 200mm
最大循環タンク数	N/A	Single 150mm	Single 150mm
同時ロット処理数	1	1	1
排気	Back	Top/Back	Top
タンク蓋	No	No	Yes
ファルター再循環	No	Yes	Yes
メガ/超音波	No	No	Mega/Ultra
メンテナンスエリア	Front	Back	Back
薬液供給方法	Manual	Manual or Bulk	Manual or Bulk
薬液供給	No	Yes (Process dependent)	Yes (Process dependent)
一般仕様	シェルタイプ︓シングルシェルに統合されに設計　　シェル材料︓FM4910(Halar, CPVD, PVDF)、ポリプロピレン、ステンレス鋼より選択

在庫検索一覧に戻る