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RENA NAは現在の技術で新しいSRDを作りました。

SRDは最先端の開発が進む装置業界で、取り残された存在でした。

RENAのCOMPASSはそれを見事に覆しました。

何十年も放置されてきたSRDの弱点に注目し、SRDをより使いやすいものに

したのがRENAのCOMPASSです。

実績豊富なIDXソフトウェアを掲載したCOMPASSは工場の自動化にSRDを

組み入れました。

答えは簡単です。どの工場にも「型遅れの」SRDが、いまだにどこかにあるからです。

プロセス装置には何億も投資する工場が、同じウェハーを古いSRDに投入しています。

だましだまし使ってストレスを溜めるより、COMPASS

に入れ替えませんか︖

N2使用量

プロセス中かどうかに関わらずSRDは日夜N2を流しています。

COMPASSではプロセスに関係しない機能にCDAを使用することにより、アイドルタイムのN2の使用量を半分に削減します。

画期的な密封設計の採用が効果をより高めます。

結果として、チャンバーあたり年間300万リットルのN2削減となります。

ホストコミュニケーション

SRDにおいてはホストコミュニケーションとプロセスコントロールは無視され続けてきました。

ログインは最小限で、レシピ設定も簡単ではありませんでした。

過去のSRDでは、業界では常識である温度制御すらありませんでした。

COMPASSではIDXソフトウェアを採用することにより、複数のレシピ設定やより細かいログイン、

プロセスコントロールを可能にしました。ホストコミュニケーションの機能も加え、COMPASSは新しいSRDの標準となりました。

ウェハーダメージを防止

時代に合ったSRDを設計するのに注目したのは、微細で壊れやすい多様なウェハーを理解することでした。

まず、振動を抑えることは必須です。

COMPASSは防振モーターシステムを始め、電気・メカ・ソフトすべてにおいて、振動を抑え、かつ最適の結果が得られるように設計されています。

シミュレーションソフトを用い設計されたローターは、既存のどれよりも強く、安全で低振動となっています。

より良いSRDのために

RENAは業界ナンバーワンのSRDを作るだけでは決して満足しません。

よりクリーンで、安全で効率的なCOMPASSにするための努力を日夜続けていきます。

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オプション　　　　　　　　　　　　　　　　  機能と特長

•　ホストコミュニケーション　　　　　　　　　　　•　低いラニングコスト

•　シグナルタワー　　　　　　　　　　　　　　　　•　優れたパフォーマンス

•　自動ドア　　　　　　　　　　　　　　　　　　　•　プロセスコントロールとモニタリング

•　湿度センサー　　　　　　　　　　　　　　　　　•　N2削減

•　ケミカルインジェクト　　　　　　　　　　　　　•　パーティクルコントロール

•　キャリアデザイン　　　　　　　　　　　　　　　•　短納期

•　DIWとN2のファシリティボックス                      •　画面が見やすく直観的操作